一、硅单晶中氧、碳的分布情况 1 、氧 ：在硅单晶中，以间隙氧的形式存在 （ 1 ）硅中氧的含量： 直拉单晶硅： 4×1017～ 3×1018原子 /cm3 多晶硅： 1016～ 1017原子 /cm3 （ 2 ）最大溶解度：熔硅： 2.2×1018原子 /cm3 固体硅： 2.75×1018原子 /cm3 （ 3 ）分布：硅单晶中的氧，由于分凝作用在晶体中呈条纹状分布，头部...
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